半導體測試行業的倡導者和領導者-提供專業半導體測試解決方案
 
 
銷售電話:13544546431 15920356775 020-37097519  聯系人:方濱 
 
傳真:020-37097519   郵箱:sales@4probes.com  QQ號:1014747857 
   
  產品目錄
-四探針測試儀
-金屬四探針測試儀
-手持方塊電阻測試儀
-導電類型鑒別儀
-少子壽命測試儀
-二探針測試儀
-C-V測試儀
-恒流源
-探針臺
-探針頭
-探針
-粉末壓片機
-測試軟件
 
熱賣、最新產品
RTS-8四探針測試儀
RTS-9四探針測試儀
RTS-4四探針測試儀
RTS-5四探針測試儀
金屬四探針測試儀
手持式四探針測試儀
便攜式四探針測試儀
RTS-7二探針測試儀
LT-2少子壽命測試儀
PN-12導電類型鑒別儀

PN-30導電類型鑒別儀

ST-21方塊電阻測試儀
CV-5000(CV測試儀)
ST-102A探針臺
FT-202四探針探頭
行業應用
太陽能電池
半導體工藝
電子元器件
功能材料
 
 
 
數字化智能四探針測試儀的研制
徐遠志1,晏 敏1,黎福海2
(湖南大學 1.物理系 2.電氣與工程學院,湖南 長沙 410082)
  摘要:將傳統直流四探針測試儀與嵌入式系統相結合,研制出數字化智能四探針測試儀。該儀器可以自動識別被測樣品電阻率,并自動切換到最佳檔位,操作簡便工作效率高,具有一定的實用和開發價值。

1 引言
   直流四探針測試法是微電子行業常用的測量材料電阻率的方法,通過測量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等重要信息。因此,在微電子工業中四探針測試儀一直是十分重要的測量儀器。

  近年來,微電子工業在中國大陸發展迅速,傳統的數字式直流四探針測試儀需要手動調節檔位,測量周期長、工作效率低,已經無法適應時代發展,國內需要尋求一種新型的測試設備。

     本文中介紹的數字化智能四探針測試儀可以自動切換量程、自動運算相關的數據。用戶甚至可以在不了解四探針測試原理的情況下方便地測量材料的電阻率。該儀器具有PC機接口,通過PC機可以集中管理且硬件成本低廉。

2 測試原理
   主要依據范德堡原理(如圖1),通過兩根探針提供一個電流流過樣品,再用兩根探針測量樣品上的電位差,最后經過相關運算得到材料的電阻率。四探針測試儀的測試理論已經相當成熟

3 硬件設計
  系統硬件由放大器、恒流源、控制邏輯、A/D轉換器、顯示器與電源6大模塊組成,如圖2。

3.1 恒流源
  10mA或100mA電流輸出電路如圖3(a),利用LM317的Vout端與ADJ端電位差恒為1.25V和ADJ端輸出電流Iadj較小(可以忽略不計)的性質,通過繼電器切換Radj實現輸出電流的切換。
輸出電流與Radj關系如下:

Iout為輸出電流。由于,Iadj值在46mA左右波動,所以為了保證精度,該電路僅用于提供10mA或100mA的電流。0.1mA或1mA電流輸出電路如圖3(b)。通過基準源Dcs1提供一個2.5V基準電壓,利用運放虛短的性質在Radj兩端提供一個穩定的電位差,使通過Radj兩端的電流穩定。通過繼電器切換Radj實現輸出電流的切換。

輸出電流與Radj的關系如下

Iout為輸出電流。
由于運放驅動能力有限,該電路僅用于提供1mA或0.1mA電流。

4 數據采集與處理
   數據采集與處理電路。以msp430f149單片機為核心,通過一個儀用差分放大電路完成對電壓信號放大與濾波后送到單片機,利用單片機內部集成的12位ADC進行A/D轉換;再通過程序判斷并切換測量量程,直到測量量程合適,再進行數字濾波與運算;最后將電阻、電阻率、方塊電阻與選用的量程顯示在LCD屏上。工作流程如圖4。
與傳統四探針測試儀不同,本文中介紹的智能四探針測試儀對被測對象進行連續采樣然后存入單片機的內存中。在運算與處理過程中首先對連續采得的多個結果進行數字濾波,濾除前端放大器沒有濾除的毛刺與波動,然后針對量程的不同選擇不同的參數建立數學模型,進行數字補償處理,校正由于數據采集電路本身的偏移和放大倍數誤差等問題造成的采樣誤差。最后,計算出相應的電阻率和方塊電阻并顯示在LCD屏上。

  儀器的外觀如圖5,正面的面板上從左到右依次為電源開關、復位健、液晶顯示屏和探針插座。相比傳統四探針測試儀它沒有電壓量程旋鈕與輸出電流調節旋鈕。由于以往需要人工進行的電壓量程切換與輸出電流調節工作已經被機器自動完成,所以這兩個旋鈕被省略了。儀器在操作上已經充分簡化。

4 結論
   本文中介紹的四探針測試儀將傳統四探針測試儀與嵌入式系統相結合。主要指標與功能如下:功耗小于6W;測量范圍量程:0.025Ω-2500Ω; 自動顯示小數點和單位;誤差:±0.5%;具有數字補償功能;自動運算結果;自動切換量程,超出量程自動報告;具有RS232接口可以和PC連接。

本文摘自《半導體技術》

   
   
 

敬告用戶:因我司生產的測試儀器在行業的知名度顯著,最近市場上出現假冒偽劣或山寨我司的產品,部分冒牌的儀器上甚至冒用我司”廣州四探針科技有限公司“和“四探針科技”的名稱,有的廠家有意或者無意間在公司介紹中暗示帶有“四探針科技”的名稱www.welove51.com是我司唯一的官方網址,我司從來沒有注冊過以任何4probes其它后綴的域名網址,有的廠家為了混淆視聽,注冊了以4probes為后綴的其它網址。甚至有的廠家還以我司生產的產品型號RTS-8四探針測試儀、RTS-9雙電測四探針測試儀等暢銷的產品型號在搜索平臺作為關鍵字進行推廣,然后指向他們的網站。請各大用戶注意,如果用戶是通過中間商購買我司產品的,最好來電我司咨詢此中間商是否為我司授權的經銷商,已購買儀器的用戶可來電我司進行核實。對于相關公司生產冒牌我司產品帶來侵犯我司名稱、商標、知識產權的產品,我司將追究其違法、違規相關的經濟和法津責任。

 廣州四探針科技官方網站
©1998-2021 廣州四探針科技有限公司 版權所有
 
粵ICP備2021114124號-1
 
茄子视频ios下载安装-茄子视频懂你最多app-茄子视频ios